秦朝建立後，以維護皇帝的專制權力主要目的，以“治吏”爲主要內容，以“糾察”各級官吏的違法失職爲主要職責的封建監察制度便在戰國時代御史制度的基礎上形成了。天下文書和監察。在地方上,皇帝派御史常駐郡縣,稱“監御史”，負責監察郡內各項工作。
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秦代開始形成制度，之後便成爲歷代的一項重要政治制度。經過長期的發展，這一制度逐步健全和完備。在公元前221年,中國歷史上第一個皇帝——秦始皇統一中國，建立起封建專制主義的中央集權制度，並創建了相對獨立的監察制度。在中央設立御史大夫，位列三公,以貳丞相,御史府爲其官署，掌握天下文書和監察。在地方上,皇帝派御史常駐郡縣,稱“監御史”，負責監察郡內各項工作。
一、監察機關的設置
秦朝在中央設置御史大夫，作爲主管監察的最高官吏。其位上卿，“銀印青綬，掌副丞相”，御史大夫實即副丞相。秦朝任御史大夫者有馮動、李曇、錢產、得等。
御電大夫的屬吏有兩丞，秩千石。一爲中丞，二是御史丞。御史丞主要是在府內協助大夫處理日常公務;中丞則在殿中掌圖書祕籍，並外領監御史以督郡縣，內領侍御史以受公卿奏事，舉劾按章，有獨立的權責。
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在御史中丞之下，秦朝中央的侍御史有15員。但基本上是臨時性的派遣監官，其職責因需要而定。史載，秦始皇時張蒼曾爲御史，即是侍御史。在地方，秦朝郡級所置之監，即是監御史。史稱“秦有監御史，監諸郡”。
二、監察機構的職權
作爲秦朝監察機構的御史臺，在當時並不是僅掌糾察之職。御史大夫中丞、侍御史等還掌管國家的圖書祕籍，但以監察爲主要職責。
御史大夫的一個重要職責就是“掌討奸猾，治大獄”(《資治通鑑》)即監察處理一些重大案件。如秦始皇三十五年之坑儒案，“使御史悉案問諸生，諸生傳相告引，乃自除犯禁者四百六十餘人，皆坑之咸陽，使天下知之，以懲後”。再如三十六年“有墜星下東郡，至地爲石。黔首或刻其石曰，始皇帝死而地分。始皇聞之，遣御史逐問，莫服，盡取石旁居人誅之，因燔銷其石”(《史記·秦始皇本紀》)。
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還有一個職責是“受公卿奏事，舉劾按章”，即監督和舉劾內外一切官吏的違法失職行爲。秦二世時，趙高“日夜毀惡蒙氏，求其罪過，舉劾之”，胡亥即“遣御史曲宮乘傳之代”，以令殺蒙毅。這是中央御史舉劾高級官員的例子。至於地方各郡的監御史，則可根據法律，“令人案行之，舉劾不從令者，到以律，論及令、丞。有(又)且課縣官，獨多犯令，而令、丞弗得者，以令、丞聞”(《史記·李斯傳》)。即是說，郡守派遣監御史至各縣巡察，監察不守法令的官吏，並依法律論處，可論及縣令與丞官。同時又考察官民多有不法行爲，其令、丞亦未認真察處的，就將令、丞上報朝廷治罪。
